نشریه روسی nanoindustry با محوریت موضوعی در زمینه نانو در مقاله ای با نام “SERVICE AND INDUSTRIAL SITE AND ZENKO PLASMA DESIGN BUREAU. REPORT FROM THE FACTORY”، درباره شرکت پوشش های نانو ساختار اینگونه نوشته است:
Сергей Милешин, инженер:
Я закончил Московский государственный техни- ческий университет имени Н.Э.Баумана в ۲۰۱۰ году по направлению “Проектирование элек- тронно-вычислительных средств”. Два года рабо- таю в компании “ЗЭНКО ПЛаЗМа” в должности инженера. Наша компания уже более семи лет специализируется на оборудовании для ваку- умно-плазменных процессов в технологиях про- мышленного производства и НИОКР для микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и МЭМС, ВЧ ИС. Мы давно и успешно сотрудничаем с меж- дународной компанией Nanostructure coatings, а с ۲۰۱۵ года являемся их эксклюзивным дистри- бьютором на территории России и Таможенного союза.
Для каких целей служат установки производ- ства NSC?
NSC создали широкий модельный ряд и большое количество доступных конфигураций оборудо- вания, которое позволяет использовать напы- лительные установки для решения задач наших заказчиков, обычно это:
- получение функциональных и технологиче- ских слоев,
- формирование контактных площадок и проводников,
- напыление различных слоев: проводящих, резистивных, диэлектрических, органических материалов,
- пробоподготовка в сканирующей (SEM) и просвечивающей (TEM) электронной микроскопии,
- создание макетов при выполнении НИОКР,
- лабораторные работы в рамках программы обу-
чения технических университетов.
Какие технологические процессы можно прово- дить в установках?
Во-первых, магнетронное напыление. Это базо- вые модели DSR и DST. В зависимости от целей они могут быть оснащены турбонасосом, дер- жателем подложек с планетарным вращением, подачей смещения на подложку, цифровыми РРГ (поддерживается подача до четырех газов), ВЧ-генератором с согласующим устройством, нагревом подложки и, что немаловажно, предва- рительной плазменной очисткой подложек.
Во-вторых, термическое испарение. Как раз сей- час в нашей лаборатории проходит проверку перед отгрузкой такая установка. Модель DTT имеет воз- можность испарять до трех различных материалов без разгерметизации рабочей камеры. Она имеет турбомолекулярный насос, цифровые РРГ для подачи рабочих газов в камеру, вращающийся стол.
В-третьих, испарение углерода. Это модель DCR, которая, в основном, используется для подготовки образцов к SEM/TEM.
Все установки снабжены встроенной систе- мой контроля толщины напыляемого материала. Информация обо всех ключевых параметрах ото- бражается на экране системы в режиме реального времени.
:در صورت تمایل به مطالعه بیشتر می توانید به فایل یا لینک زیر مراجعه نمایید